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、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が出来ます。マニュアルタイプのウェハーマウンターはワークサイズ別に300mm(12インチ)、200mm(8インチ)、150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。(無料貸出用デモ機もご用意)


また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。


貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。


特殊な装置としては、1台の装置にテープ/フィルムを2本セットできるツインタイプ装置があります。一般のり付きテープとUVテープ(紫外線硬化)を同時にセットする等、テープの載せ換え作業の手間がかかりません。

概要


ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。
ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を Eibach スプリング Pro-Kit 3515-240 フォード トーラス ワゴン TS382,FA542,FA5U2 1988年12月~1996年2月、容易に行うことができます。
テクノビジョンのウェハーマウンターは プリメーラ/カミノ[HNP10][90/10~95/9]ご注文前下記詳細要確認フロント左右(bremboブレンボプレーンローター)代引注文不可、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。


[動画 : マニュアルマウンター]

仕様


モデル ウェハーサイズ 装置サイズ:(WxDxH)(mm)
FM-2243 12インチまで 510(W) x 860(D) x 330(H)
FM-2248 8インチまで 455(W) x 780(D) x 300(H)
FM-2246 6インチまで 375(W) x 760(D) x 230(H)

モデル ウェハーサイズ バックグラインド/BG用途
FM-2243-BG 12インチまで 300mm/12 対応装置
FM-2248-BG 8インチまで 200mm/8 対応装置
FM-2246-BG 6インチまで 150mm/6 対応装置

特長


機能
1 瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
2 貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
3 円周カッター内蔵。
4 水平カッター内蔵。
5 セパレーター巻き取り機構内蔵。
6 オプション:ヒーターユニット ブレンボ ブラックパッド リア左右セット ブレーキパッド Cクラス W204 204057 P50 068 brembo ブレーキパット【店頭受取対応商品】、ダンパー、静電気対策

各種オプション



静電気除去ユニット

ダンパー

ヒーターユニット

テープ貼り付け手順


■マニュアル・タイプの貼り付け手順例

  貼り付け手順
1 ダイシングフレームを装置の所定の位置に 、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2 固定(吸着スイッチON)
3 ウェハーをセット
4 固定(吸着スイッチON)
5 装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定
6 貼付用のローラーを手前に引きながら、テープを貼り付け。ローラーを奥に戻す
7 カッターユニットのカバーを閉じ 【グロウ Grow】トヨタ 86/ハチロク 等にお勧め ファサネイトエンブレムセット カラータイプ 1台分 型式等:ZN6、円形カット用カッターで周りをカット
8 装置奥にある水平カッターでロールから切り離す
9 カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く
10 フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着スイッチOFF)
11 貼り付け完了

用途


下記を中心に広範な用途に対応しています。


【ダイシング用途】

ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。


【保護(バックグラインド/BG)用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。


【その他】

フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。(DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等)

メリット


ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで 17インチ サマータイヤ セット【適応車種:オデッセイ(RB3、4)】WEDS レオニス グレイラ アルファ BMCミラーカット 7.0Jx17NANOエナジー 3プラス 215/55R17、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。

■装置バリエーション

FM-224シリーズ
(マニュアル装置)

シンプル機構の
マニュアルタイプ

FM-3343
(セミオート装置)

小型テーブル
トップタイプ

FM-664シリーズ
(セミオート装置)

プリカットテープ・
ノーマルテープ兼用タイプ

FM-903S
(セミオート装置)

ノーマルテープ専用
8インチタイプ

製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。

株式会社テクノビジョン
〒350-0165 
埼玉県比企郡川島町中山2078
TEL:049-299-1385 
FAX:049-299-1386

製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

簡易洗浄ユニット

  ケミカルユニット

  スクラブユニット

  ドライユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

テクノビジョンについて
『株式会社テクノビジョン』は、半導体等のハイテクノロジー産業で、製造プロセスの歩留り向上、品質向上、

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、および自動化/省力化に貢献している日本の半導体製造装置メーカーです。

商品情報

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